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    超声波洗濯机单晶硅片要领及其装配

    超声波洗濯机单晶硅片要领及其装配要领是将被洗研磨硅片程度状安排正在洗濯槽底部上方栅栏状的石英棒框架上,正在确保洗濯槽内具有去离子水高度其实不断流动的条件下,应用设在洗濯槽底部的超声波振子停止洗濯,超声波频次为40KHz,每5分钟将研磨硅片翻一个里,一连超洗至被超洗的研磨硅片外面没有玄色污染物冒出行。装配中弃捐单晶硅片框架的底壁为栅栏状的石英棒,全部框架由支持足支持正在洗濯槽内。本发现改竖超洗程度超洗后,处理了果硅片间隔超声波源不等、污染物易聚积正在硅片外面下部而形成部分难以洗濯清洁的题目,和消弭了用聚四氟质料制成的承载硅片的软体花篮会吸附和阻挠超声波源的通报,形成硅片外面部分地区洗濯不清洁的征象。

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